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主要技術參數
閥功能 M52-R B52 M52-M P53
初始位置 – – – C 1) U 2) E 3)
穩態位置 單電控 雙電控 單電控 單電控
復位方式: 氣復位 是 4) – 否 否
復位方式: 彈簧復位 是 4) – 是 是
真空工作，氣口 1 僅適用于外先導氣源
結構特點 活塞滑閥
密封原理 軟
驅動方式 電
控制方式 先導
先導氣源 內或外先導
排氣功能 帶節流
手控裝置 可選：按鈕式, 封蓋式, 按鈕式/鎖定式或鎖定式
安裝方式 可選
通過通孔 5) 或氣路板
安裝位置 任意
公稱通徑 [mm] 2 1.4 2
額定流量 [l/min] 100 80 90
氣路板流量 [l/min] 100 80 90
開關時間，開/關 [ms] 7/15 – 7/21 8/25
轉換時間 [ms] – 5 – 14
閥寬 [mm] 10
氣口 1, 2, 3, 4, 5;12/14 M3
產品重量 [g] 38 49 37
c UL us- Recognized (OL)
c CSA us(OL)
CE 標記（參見合格聲明） 符合歐盟電磁兼容性指令 6)
耐腐蝕等級 CRC 7) 2
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