YS松下晶圓定位傳感器，日本Panasonic定位傳感器電子樣本

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    地址：上海市嘉定區(qū)江橋嘉涌路99弄6號(hào)713室

    重量 本體重量：約75g

    氮化膜具有可吸收特定波長(zhǎng)光的性質(zhì)，吸收的波長(zhǎng)因氮化膜的厚度而不同。

    因此，對(duì)于使用單波長(zhǎng)激光的傳感器，可能會(huì)因光全被吸收而無(wú)法檢測(cè)。

    而LED光源的光具有一定波長(zhǎng)段，即使氮化膜晶圓也可準(zhǔn)確檢測(cè)。

    0.5ms的高速反應(yīng)

    實(shí)現(xiàn)0.5ms的高速反應(yīng)。兼顧高速反應(yīng)性和。

    基于2段受光元件的位置檢測(cè)

    利用反射光量檢測(cè)時(shí)，反射光量和晶圓的邊緣形狀會(huì)影響檢測(cè)結(jié)果。

    傳感器可以從正前方、右側(cè)、左側(cè)、下方四個(gè)方向引出電纜。可根據(jù)傳感器的設(shè)置情況靈活調(diào)節(jié)。

    可從四個(gè)方向引出電纜

    以往使用激光的激光式定位傳感器，激光會(huì)從加載口內(nèi)側(cè)穿過(guò)FOUP直射操作人員，危險(xiǎn)。

    M-DW1成功使用LED光源。確保操作人員安全。

    使用環(huán)境溫度 0?＋55℃(注意不可結(jié)露)、存儲(chǔ)時(shí)：?10?＋70℃

    使用環(huán)境濕度 35?85%RH、存儲(chǔ)時(shí)： 35?85%RH

    使用環(huán)境照明度 白熾燈：受光面照明度3,000lx以下、熒光燈：受光面照明度1,500lx以下

    耐電壓 AC1,000V 1分鐘　所有電源連接端子與外殼之間

    絕緣電阻 所有電源連接端子與外殼之間，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表

    耐振動(dòng) 頻率10?500Hz　雙振幅3mm　X,Y和Z方向各2小時(shí)

    耐沖擊 耐久98m/s2(約10G) XYZ方向各5回

    投光元件 LED(調(diào)制式)

    材質(zhì)  外殼：ABS及SUS301、透鏡： 丙烯

    電纜 0.15mm2 5芯橡皮電纜，長(zhǎng)300mm

    電纜延長(zhǎng) 0.15mm2 以上的電纜全長(zhǎng)可延長(zhǎng)至10m

    內(nèi)置放大器的小巧、輕盈型

    尺寸為寬度80.6mm×厚度18.3mm×進(jìn)深50mm，質(zhì)量約為75g的小巧、輕盈型。

    靈敏度設(shè)定 背面教導(dǎo)：按本體靈敏度設(shè)定按鈕運(yùn)行

    檢測(cè)靈敏度切換：本體開(kāi)關(guān)2bit、4級(jí)或外部輸入的2級(jí)選擇式

    能 保護(hù)構(gòu)造 IP20(IEC)

YS松下晶圓定位傳感器，日本Panasonic定位傳感器電子樣本