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該式傳感器為 CTA（恒溫風速計）
另外三個電阻位于氣體通道之外。這
五個電阻連接成一個測量電橋。
在這塊膜上有一個加熱電阻和兩個對稱的
接接觸，因此具有許多特定的YS，
其中之一就是對于流量變化的響應極快。帶 CMOS 傳感器
的 MFC 具有100 ms 的響應時間，
保持一個恒定的溫差。這兩個電阻都直接位于氣體通道內；
測量介質溫度，另一個阻值電阻
管道中的層流元件產生一個必需的壓差，
CMOS 傳感器是在旁路管道中進行測量的。主
如使加熱電阻保持在一個恒定溫度，則兩個溫度傳感器的
氣體通道中的一個電阻 (RT)
使小部分流量進入旁路管道。旁路管道內壁上裝有帶膜
(RS) 不斷被加熱，使其與介質溫度（由 RT 測得）
之間始終保持一個恒定的溫差。所需的加熱電
工作原理：控制加熱電阻 (RS) 和測量電阻 (RT) 之間
此外，該傳感器的結構確保其不易受污染物的影響。
與在主管道中進行測量的式傳感器不同，
溫度傳感器（分別位于上游和下游）。
電壓差即可用于測量旁路通道內流過芯片的氣體的質量流量。
流即用于測量流過該氣體通道的氣體流量。
MFC 中合適的流量調節確保其所測得的質量流量非常
且靈敏度高，即使流量很小時也是如此。
。由于加熱電阻和測量電阻都直接位于氣體通道內，
的硅芯片，用于測量流量。采用 CMOS 傳感器技術，
所以當設定值或實際值變化時，該傳感
器的響應時間極短，只有幾百毫秒。
該溫度傳感器的熱量、與介質直
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