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量程選擇自封式快換接頭SMC,CP96SDB63-250C

量程選擇自封式快換接頭SMC,CP96SDB63-250C

  • 所屬分類:日本SMC/SMC電磁閥
  • 瀏覽次數(shù):
  • 發(fā)布日期:2019-09-29
  • 產品概述
  • 性能特點
  • 技術參數(shù)

量程選擇自封式快換接頭SMC,CP96SDB63-250C

1.jpg

放出氣體量少。重金屬污染少。

無氣體積留的遺體鑄造結構。

鋁制高真空L型閥,安裝上具有與XL系列的互換性(XM系列)。

使用壓力:1×10-6Pa(abs)

泄漏量:內部1.3×10-9Pa?m3/s、外部1.3×10-11Pa?m3/s。

有2種接頭和內螺紋可選。洗凈后可重復使用。采用鋁制主體。

受熱升溫均勻。重量輕、外形緊湊。放出氣體少。

重金屬污染少。可更換波紋管。耐氟。

維護性提高波紋管更換更容易

可通過頂部拆裝們(訂制規(guī)格)

用于半導體等需要高潔凈度氣體的行業(yè)。

消耗功率:多削減25%。

質量:多減小18% 0.5kg→0.41kg。

閥與針閥一體化,配管空間為原來的1/4。

密封部采用金屬膜片,大幅減少了微粒的產生。

初始供氣、主給気可同時進行流量調節(jié)。

在半導體裝置等中、適合用作負載鎖定室

和搬送室以及搬送室和過程處理室之間的隔斷閥。

長壽命:300萬次(常溫時)

發(fā)塵量:減少至1/5以下(與以前型號相比)

機械強度大、耐壓能力強、耐腐蝕性強。

可機械加工、鉚接、釬接、焊接及同時燒結。

可作為氣體的切斷閥使用。

接觸氣體部分無彈簧,驅動部也使用膜片隔離,

因此減小了氣路的死區(qū),抑制了粒子的產生。

用于洗凈及潔凈室組裝。

全部產品均經(jīng)過了氦氣泄漏檢測。

符合SEMI規(guī)格采用方便作業(yè)的鍛造主體。

操做通口為M5螺紋(AK3542, 4542)。

手輪構造經(jīng)過改良、實現(xiàn)了產品的小型、輕量化(AK3652, 4652)。

采用有凹凸的圓形手輪,更便于操作和確認(AK3652, 4652)。

從半導體到一般行業(yè)均可使用的標準型。

產品體型小、重量輕。安全對策采用機械式端鎖機構

適合半導體等需要供給高潔凈度氣體的行業(yè)。

主體材質為SUS316L二次熔煉或SUS316L。

接觸氣體部分經(jīng)過電解研磨處理。

外部金屬密封構造。

從半導體到一般行業(yè)都可使用的標準型。

主體材質可根據(jù)流體選擇SUS316或黃銅。

質量:0.52kg、高:97.5mm。

內部容積小,其體積存量少。

配管擴展品[單向閥]防止背壓使流體逆流。

構造簡單,內部的可動零部件僅為O形圈。

采用無彈簧的構造,可減少因震顫等產生的顆粒,降下游的壓力變動。

[真空發(fā)生器]真空發(fā)生器。

用于更換氣罐時,排出配管中殘余的氣體。[流量開關]

檢測配管破裂等造成的過剩流量。

全系列的配管連接均可選擇Rc, R或NPT。

從半導體到一般行業(yè)都可使用的標準型。可用于洗凈。

降執(zhí)行器的高度,實現(xiàn)產品的小型、輕量化(AK3542, 4542)。

可從壓縮接頭、NPT內螺紋、Rc螺紋中選擇。

自封式快換接頭.jpg

量程選擇自封式快換接頭SMC,CP96SDB63-250C

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