安裝及調試日本CKD小型流量傳感器

FSM2-NVF100-H041技術資料

吸收FSM系列的YS并實現了更大的進步。

繼承了優異的應答性，量程擴大到了1000L/min。

采用雙畫面和雙色顯示，并搭載自動參考功能，操作便利性大幅度提高。

此外，實現了雙向測量，注入了新價值。

流量量程增大

保持大流量，結構小型化

實現雙向流體測量

精度提高 不過±3%FS

在以往的流量量程（0.5、1、5、10、20、100 L/min）之上增加

了2、200、500、1000 L/min四個類型。

雙畫面顯示和雙色顯示功能

流量欄表示功能

、應用于各種領域中

小型流量感測器可以用在機械、汽車、計量儀器、儀器等領域和半導體、

生物等尖端領域以及醫療、食品領域等上，用途非常廣泛多樣。

適用流體

感測器的用途

自動參考功能

高速應答 不過50msec

利用表示一體型設計，通過設置主畫面和輔助畫面，提高了操作

的靈活性。

而且，利用雙色顯示，發生異常時一看便知。

在表示分離型中，通過流量欄表示，可以一目了然地掌握目標流

量。

通過按鈕操作或者外部輸入，可以自動獲取開關輸出的設定值。

完全避免了繁瑣的設定過程。

通過采用了硅微細加工技術白金感測器小片，實現了高速應答。

有助于縮短間隔時間。

流量量程為500、1000 L/min這兩個類型，是以往體積的30%。

實現了行業首屈一指的小型化。

各種泄露檢查

針孔檢查

離子化器的吹掃氣體確認

焊接氣體的管理

吹掃氣體的流量管理

落座確認

吸附確認

可以直接測量泄露流

量。即便是微壓，由于

輸出與針孔成正比，

因此也可以用來判斷

有否故障、確認狀態

情況。

可處理的流量量程大。

內嵌速控器型（特別訂購品）可

以輕松對流量進行控制。

有助于設備的小型化、輕量化。

表示一體型、雙向型可以任意設置流向進行測量。

管線安裝的自由程度得到了很大提高，同時還可以用來探測逆流。

精度達到了±3%FS，實現了更為準確的流量測量。

可處理的流量量程大。

①與壓力感測器不相上下的高速應答（應答由管線的內容積、壓力等決定）

②由于是通過流量探測的，因此不存在因壓力的變化而引起的調節、誤檢情形。

③可以探測出噴嘴或過濾器的孔口堵塞。

④通過流量探測，可以有效管理傾斜吸附等吸附錯誤。

利用壓力感測器時有時差壓過小而無法判別，此

時根據流量可以準確地進行判別。

激光激發器、半導體制造裝置的N2氣體管理

處置的流量量程大。

內嵌速控器型（特別訂購品）可以

輕松對流量進行控制。

生活工業

食品、醫療

液晶

汽車

半導體

電子零組件

機械制造

汽車等

各種泄露檢查

離子化器的流量管理

焊接氬、碳酸氣的流量管理

涂裝氣體的流量管理

吹掃氣體的流量管理

吸附確認

與壓力感測器相比較（噴嘴直徑為Ф0.3、真空壓力為-70kPa時）

小型流量感測器（使用FSM2-※010時） 壓力感測器

落座確認

流量差 ：830mL/min

吸附 吸附

一目了然

壓力差 ：2kP

FSM系列

FSM2系列

是以往體積的

30%

（1000 L/min類型）

詳情請參閱P29

正方向 雙向 反方向

詳情請參閱P25

詳情請參閱P25

詳情請參閱P28

流量欄表示

流量單位

主畫面（顯示瞬時流量）

〈雙色顯示〉

輔助畫面（流向等）

機型種類 尺寸

小型、輕量 高速應答 開關輸出 模擬輸出 大流量型

反方向

雙向

正方向

分離型 一體型

主體材質

保持感測器性能，實現防范故障于未然。

頁碼

目錄No.

頁碼

應答速度 顯示器 材質 輸出方

此產品的安裝調試方式

水平安裝 ( 使用貫通孔 )

托座安裝 ( 使用專用托座 )

垂直安裝 ( 使用底面內牙 )

連接口徑：單觸φ4、φ6、φ8、φ10

 Rc1/8、Rc1/4、M5

單個托座型號：FSM2-LB1

連接口徑：Rc1/2

單個托座型號：FSM2-LB2

水平安裝 ( 使用貫通孔 )

托座安裝 ( 使用專用托座 )

垂直安裝 ( 使用底面內牙 )

連接口徑：單觸φ4、φ6、φ8、φ10

 Rc1/8、Rc1/4、M5

單個托座型號：FSM2-LB1

連接口徑：Rc1/2

單個托座型號：FSM2-LB2

安裝及調整時

連接連接器后請務必安裝連接器防護罩。

直接電纜的引出部位及連接器部不要形成壓力。

請停止控制裝置、機械裝置后，在切斷電源的狀態

下進行布線。如果使裝置過快運行有時裝置會進行

異常動作，這樣非常危險。請先使控制裝置、機械

裝置保持停止狀態進行通電試驗，并進行開關數

據設定。操作前、操作中請將人體、工具、裝置所

帶的靜電充分放電后進行操作。活動部請使用類似

機器人用線材的具有耐屈曲性能的線材進行連接布

線。請不要過電源電壓范圍使用。如果施加過使用

范圍的電壓或交流電源，則可能導致本產品破裂或

燒毀。

本產品及布線設置時請遠離強電線等嗓音源。電源

線產生的浪涌請另行采取措施。有時顯示或輸出會

有變動。

負荷請不要短路。因為可能導致本產品破裂或燒

毀。

金屬主體(不銹鋼主體、鋁主體)型用電源請使用與

交流一次端完全絕緣的DC穩定電源，F.G.連接電源

側的＋側或－側的某一側后使用。為防止感測器的

絕緣損壞，金屬主體型的內部電源回路和金屬主體

之間連接有變阻器(限制電壓約40V)。金屬主體型

的內部電源回路和金屬主體之間不要實施耐電壓試

驗和絕緣電阻試驗。需要實施這些試驗時請將布線

拆下后實施。電源和金屬主體之間的過大電位差會

燒毀內部零組件。此外，金屬主體型的本產品設置、

連接、配線后，裝置、機架的電焊或短路事故的焊

接電流或焊接時過渡性高電壓、浪涌電壓等會導致

與連接上述元件間的回路、接地線或流體回路產生

電壓泄露，后使電線或元件損壞。請在全部拆去

主機或電線F.G.連接后進行電焊等操作。

金屬主體利用OUT側釋放使用時也請務必連接接

頭。否則可能導致孔口過濾器脫落。

如果使用單觸接頭，則插入管子，在確認管子不能

拔出后再使用。此外，管子請務必使用專用切刀切

成直角后使用。